南京市江北新区华创路2号南京天集产业公园T3栋
一 需求定义与环境指标
明确研究方向与设备清单（如飞秒激光、干涉仪、显微/成像、薄膜/微纳加工），据此确定洁净度、温湿度、振动与电磁兼容的“目标线”。
常用环境指标建议值：
洁净度：优先ISO 5（Class 100）/千级/万级；高功率激光与高反/高透元件装配宜取ISO 5 或更优。
温度：工作区22±2℃；高精度计量/干涉可按±0.1–0.5℃控制精度设计。
湿度：45%–55% RH（常用窗口），波动度±2%RH；高湿易结露与霉变，低湿易静电，均需规避。
振动与噪声：平台隔振与暖通气流协同控制，避免风致振动影响光路。
照明：可调、均匀、低眩光，必要时配置暗室。
洁净室气流：洁净区与非洁净区保持5–20 Pa正压；末端可采用层流（垂直/水平）或乱流，以粒子快速排出与光路稳定为目标平衡。
人员/物流与安全动线：人流与物流分离、设置缓冲与更衣、紧急出口与疏散通道畅通（通道宽度一般不小于1.2 m）
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二 建筑平面与装修要点
功能分区与动线：设置光源区/光路调节区/组件安装区/实验操作区与仪器室、样品准备区、数据分析区、控制与监测室等，避免交叉干扰；对高精度测量可设独立小间降低外界扰动。
洁净装修材料与构造：
地面：环氧自流平或PVC卷材，具备防静电（10⁴–10⁶ Ω）、耐磨、耐腐蚀，接缝密封；
墙/顶：50 mm夹芯彩钢板或不锈钢板，表面光滑少接缝，阴角圆弧过渡便于清洁；
吊顶：FFU盲板或防火彩钢板，可上人并满足承重；
门窗：气密性洁净门（电动平移/气密门），尽量少设外窗或采用双层中空玻璃+密封条。
施工工艺与洁净管控：遵循“先外后内、先上后下、先大后小”，湿法切割/焊接降尘，管道连接密封；墙板安装垂直度达标；施工后全面清洁消毒，并进行浮游菌/沉降菌检测
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三 暖通空调 自动控制与压差
过滤与气流组织：新风初效—中效—末端高效三级过滤，末端HEPA≥99.995%（0.3 μm）；常规建议：十万级**≥15次/h**、万级**≥20次/h**、百级采用层流（垂直/水平）。对光路稳定性优先的场景，可采用“净化空调循环送风+吊顶双层结构+下层全孔板送风”，显著降低工作面风速与湍流。
温湿度与控制策略：按目标点计算露点并匹配机组——露点**>13℃可用常规直膨/冷冻水；10–13℃需5℃出水机组或特殊直膨；5–10℃用低温冷冻水或转轮除湿+常规制冷**；<5℃优先转轮除湿或其他定制方案；机组宜具备全年制冷能力。通过DDC/PLC对冷热源、加湿/除湿、风机频率与阀门进行联动，实现温湿度的设定点跟踪与波动控制。
压差与噪声：洁净区相对非洁净区维持+5～+20 Pa；工作区风速<0.25 m/s以降低光路抖动与噪声；必要时在关键工位周边做局部缓冲与二次围挡
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四 供配电 气路与给排水
供配电：激光与控制设备对电源质量敏感，配置独立配电柜、分路供电、冗余回路与UPS；大功率与精密仪器分路，预留380 V动力与扩容容量；部分精密仪器对接地有专要求，常见指标为<4 Ω或<1 Ω。
气路与真空：按工艺配置氮气/压缩空气/惰性气体，设瓶组间/气瓶柜、减压稳压、泄漏报警、防爆电气；气体管路分段检漏与定期巡检；真空系统与尾气抽排按工艺与安全配套。
纯水与给排水：按工艺提出电导率/流量/温度等指标配置纯水/超纯水；化学/溶剂废液与含重金属、挥发性有机物废液分类收集与预处理；冷却循环水与工艺冷却水需与设备厂商工况匹配。
三废与安全联锁：有毒/挥发性气体配置吸附/洗涤等处理设施；建立气体泄漏报警—通风—切断联动与EMO紧急停机；消防按规范配置CO₂/干粉等并保障疏散
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五 光学平台与安全控制
平台与隔振：选用高刚度/低自振频率光学平台，必要时配置主动/气浮隔振；大型装置考虑独立隔振基础；控制室内气流速度与流向，避免风致振动。
机架与布线：采用悬挂式机架将电脑/电源/冷却模块悬空，避免与平台机械耦合；平台周边**≥60 cm作业通道，避免在平台边缘堆放线缆/气路；键盘/鼠标支架从平台剥离**，减少微振动。
激光安全：设置激光安全帘、“Laser in Use”提示、护目镜按波长分区、入口安全手册/急救指南；严格执行分区与门禁联锁，必要时配置光阱/光挡与初始低功率调试流程。
防静电与接地：关键工位与设备按需达到抗静电/静电耗散/导静电等级；涉及精密仪器的独立接地按设备手册执行（常见<4 Ω或<1 Ω）。
光路布置与调试：保持光束在平台平面内传播，尽量避开人眼高度；优先让光束沿平台孔阵中线；使用双镜系统实现平移/旋转调节；对高反/滤光片严格按入射角与膜系指标装配。
人员培训与运行维护：建立SOP/准入/点检/计量校准制度，定期更换HEPA/中效并记录温湿度/压差/洁净度数据，确保长期稳定运行
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