南京洁净室_南京净化工程-江苏智之海科技有限公司

一 空间与平面布局

房间优选底层或结构刚度更好的楼层，降低楼板振动与楼上传递扰动；对超稳环境可结合局部隔振与建筑隔振方案统一考虑。

功能分区清晰：设置光源区/光路调节区/组件安装区/实验操作区，并配套仪器室、样品准备区、数据分析区、控制与监测室、更衣/缓冲与洁存区，避免人流、物流与气流交叉。

典型布局：

E 字形（一体化长平台，光路短、便于整体调平，适合多课题组共享）；

分区独立式（各系统互不干扰，后端光束品质略降，适合多套并行实验）；

单平台紧凑式（便于固定系统与吊装/脚手架布置）。

人员与物流动线分离，设置独立配电柜与强弱电分离；气体采用瓶组间+管路或移动钢瓶+减压阀组两种方案，预留扩展与检修通道

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二 环境与基础设施控制

温湿度与洁净度：常规建议温度20–22℃、相对湿度40%–60%；高精度计量/干涉测量可按±0.1–0.5℃温度稳定度与±5%湿度波动度目标配置；洁净度按项目需求选千级或更高。

振动与噪声：地面做隔振/减振处理，选用气浮或主动隔振光学平台，并与空调、冷水机组、电梯等振源解耦布置；通风设备采用低噪声方案。

照明与电磁兼容：实验区照度均匀且可调，必要时设暗室；对高灵敏度设备配置电磁屏蔽与滤波。

洁净室细节：优先选择本地施工商缩短响应；走线尽量管网化/暗敷，减少挂碰与二次污染；空调系统建议独立控制并配置备用容量，避免超温停机

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三 供配电 气体与给排水

供配电：激光与控制设备对电源质量敏感，配置独立配电柜、冗余回路与UPS；大功率设备与精密仪器分路供电；预留380 V 动力电与未来扩容容量。

气体与真空：常用氮气/压缩空气/惰性气体等，设置瓶组间/气瓶柜、减压与稳压、泄漏报警与防爆电气；按工艺需要配置真空系统与尾气抽排。

给排水与纯水：按工艺配置去离子水/超纯水、冷却循环水与废水预处理；化学/溶剂废液与含重金属/挥发性有机物废液分类收集与预处理。

三废与安全联锁：有毒/挥发性气体配置吸附/洗涤等处理设施；建立气体泄漏报警—通风—切断联动与紧急停机 EMO

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四 光学系统与关键器件选型

光学平台与隔振：平台需具备高刚度/阻尼与低自振频率；与建筑振动、空调气流、人员走动等扰动源物理隔离。

反射与透射元件：超快系统对GDD/色散极敏感，优先选用低 GDD 超快镀膜的介质镜；标准介质镜或金属镜若无GDD 规格，易引入脉冲展宽与焦点强度下降。示例（以800 nm为例）：

标准银镜：R 93–96%，无 GVD 规格（低成本，“可用但不优”）；

飞秒优化银镜：R ≈99%，GVD < 5 fs²（性价比优）；

低 GVD 介质镜：R **>99%**，近零 GVD（寿命与稳定性更佳）；

宽带超快转向镜：Rp **>99.6%**，近零 GVD（适合690–1040 nm或680–1300 nm调谐光源）。

表面与波前质量：高反/高透元件建议Scratch-Dig 10–5、平面元件波前平整度 ≤ λ/10（633 nm），以降低散射与像差、提升聚焦强度与重复性。

损伤阈值与维护：高平均功率/高峰值功率应用优先高 LIDT镀膜与材料，建立清洁/检验/更换SOP，避免由污染与划痕引发的热致损伤与通量衰减

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五 安全 辐射防护与运行维护

激光安全：按IEC 60825-1进行分类、分区（Nominal Ocular Hazard Distance, NOHD）与工程控制（联锁、互锁、门禁、光闸）；设置激光危险标识、联锁急停 EMO与安全联锁回路；配备Laser Safety Officer（LSO）与PPE（护目镜、防护屏）。

电气与消防：高功率设备独立回路与漏保/浪涌，走线管网化；配置灭火器（CO₂/干粉）、消火栓、应急照明与疏散指示，通道宽度一般不小于1.2 m。

真空/化学品/废气：真空腔体与高压气体按规范做强度与泄漏校核；化学/溶剂操作配置局部排风与吸附/洗涤；废液、废气与固废分类管理与合规处置。

运维与校准：建立温湿度/洁净度/振动台账与设备点检；光路与偏振态定期复核；关键仪器按周期计量校准；制定SOP/培训/准入制度与应急预

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