南京市江北新区华创路2号南京天集产业公园T3栋
一、停电突发情况的应对措施
启动备用电源系统：光刻机实验室通常配备UPS不间断电源或柴油发电机作为核心备用电源。UPS可在停电瞬间（毫秒级）切换供电，保障温湿度控制系统的传感器、控制器及执行机构（如压缩机、加湿器）持续运行；柴油发电机则在长时间停电时提供电力，确保系统不会因断电中断。系统需定期测试备用电源的启动时间及负载能力，确保其能在停电后30秒内投入运行
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切换至应急温湿度维持模式：温湿度控制系统内置应急程序，当检测到停电时，自动切换至“最小能耗维持模式”。例如，关闭非必要的加热/加湿单元，保留核心循环风机运行，保持实验室空气流动，延缓温湿度剧烈变化；同时，启动备用冷却系统（如蓄冷罐），利用预先存储的冷量维持温度稳定，为恢复供电争取时间
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实时监控与报警联动：停电期间，系统通过无线通信模块（如4G/5G）将实时状态（如备用电源电量、实验室温湿度）传输至管理人员手机或监控中心。若温湿度超出预设阈值（如温度波动＞±0.5℃），立即触发声光报警，提醒人员采取手动干预（如添加冰袋辅助降温），避免关键设备（如光刻机光学元件）受损
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恢复供电后的系统校准：供电恢复后，系统自动执行自检程序，检查传感器（如PT100铂电阻、电容式湿度传感器）、执行机构（如压缩机、加湿器）的状态。若发现异常（如传感器漂移、执行机构卡滞），立即启动校准流程（如用标准温度计校准传感器、手动测试加湿器喷头），确保温湿度控制精度恢复至停电前水平
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二、设备故障突发情况的应对措施
快速定位故障源：温湿度控制系统通过分布式传感器网络（如每10㎡布置一个温湿度传感器）实时监测实验室各区域参数。当某区域温湿度异常（如温度超标＞±1℃），系统自动定位故障区域，并通过故障树分析（FTA）判断故障原因（如传感器失效、执行机构故障、管路泄漏）。例如，若某传感器读数持续偏离正常值，系统会标记其为“可疑故障点”，并通知维护人员重点检查
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启动备用设备冗余：关键设备（如压缩机、加湿器、主循环风机）均采用N+1冗余配置（即1台备用设备对应N台工作设备）。当某台设备故障时，备用设备自动启动，接替其工作，确保温湿度控制不中断。例如，若主压缩机因过载停机，备用压缩机会在10秒内启动，维持制冷循环，避免温度波动影响光刻机工艺
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手动应急操作：维护人员可通过本地控制面板或远程监控系统进行手动干预。例如，若传感器失效，可手动输入当前温湿度值，让系统基于人工数据继续调控；若加湿器故障，可手动开启备用加湿器（如超声波加湿器），补充实验室湿度。手动操作需遵循“先确认、后操作”原则，避免误操作加剧故障
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故障修复与系统恢复：维护人员到达现场后，根据故障类型采取相应措施：传感器故障需更换同型号备件，并用标准仪器校准；执行机构故障（如加湿器喷头堵塞）需清理或更换部件；管路泄漏需关闭相关阀门，修复泄漏点后重新充注介质（如制冷剂、水）。故障修复后，系统需进行72小时连续运行测试，验证温湿度控制精度（如±0.1℃、±0.5%RH）是否符合光刻机工艺要求
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- 上一个：光刻机实验室的温湿度控制系统是如何实现±0.1℃甚至±0.005℃的精准控制的？
- 下一个：一、UPS与柴油发电机在温湿度控制系统中的切换流程
