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实验室中,温湿度控制系统与洁净度控制系统并非独立运行,而是通过共用基础设施、联动参数调节、协同气流组织及智能控制,实现对环境“温湿度+洁净度”的双重精准控制,满足高精度实验或生产的严格要求。1. 基础设施共用:空气处理与输送的核心协同两者的空气处理链路高度重叠,通过组合式空气处理机组(MAU) 完成温湿度调
一、UPS与柴油发电机在温湿度控制系统中的切换流程温湿度控制系统的电力供应需实现“市电中断→UPS瞬时接管→柴油发电机启动→UPS转充电→市电恢复→切换回市电”的无缝闭环,具体步骤如下:1. 市电中断:UPS瞬间切换至电池供电当市电因故障(如停电、电压波动)中断时,UPS的静态转换开关(STS) 立即动作(切换时间≤20ms
一、停电突发情况的应对措施启动备用电源系统:光刻机实验室通常配备UPS不间断电源或柴油发电机作为核心备用电源。UPS可在停电瞬间(毫秒级)切换供电,保障温湿度控制系统的传感器、控制器及执行机构(如压缩机、加湿器)持续运行;柴油发电机则在长时间停电时提供电力,确保系统不会因断电中断。系统需定期测试备用电源的
一、光刻机实验室防震设计具体技术方案光刻机实验室的防震设计需围绕“隔振-监测-反馈”核心逻辑,通过基础隔震、主动控制、辅助加固三大类技术实现纳米级稳定支撑,具体方案如下:基础隔震系统:切断振动传递路径基础隔震是防震的第一道防线,通过隔震地基或隔震装置将实验室地面与建筑主体分离,减少外界振动(如交通、施
一、超净间洁净度要求光刻机对实验室洁净度的要求极高,核心区域需达到ISO 1至3级(对应传统“百级”至“千级”),部分先进制程甚至要求ISO 1级(每立方米空气中≥0.1微米的微粒数≤10个)。这一标准远高于普通工业洁净室,旨在避免尘埃、微粒附着在晶圆表面或光学元件上,导致电路短路、断路等缺陷。为实现这一目标,实验
一、你真的了解恒温恒湿机吗?在生活和生产中,我们常常会遇到对环境温湿度要求苛刻的场景。比如博物馆里,珍贵的文物需要在特定温湿度下才能长久保存,避免因温湿度不适而损坏;电子芯片制造车间,微小的温湿度变化都可能影响芯片的性能和质量。这时,恒温恒湿机就发挥着关键作用。但你真的了解恒温恒湿机吗?它是如何精